Irodalomjegyzék

[1.] Völklein, Friedemann és Zetterer, Thomas. Praxiswissen Mikrosystemtechnik. Vieweg Praxiswissen. 2005. ISBN 3-528-13891-2.

[2.] Gerlach, Gerald és Dötzel, Wolfram. Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Hanser. 1997. ISBN 3-446-18395-7.

[3.] Mescheder, Ulrich. Mikrosystemtechnik. Teubner Stuttgart. 2000. ISBN 3-519-06256-9.

[4.] Ehrfeld, Wolfgang. Handbuch Mikrotechnik. Hanser. 2002. ISBN 3-446-21506-9.

[5.] Brück, Rainer, Rizvi, Nadeem, és Schmidt, Andreas. Angewandte Mikrotechnik. Hanser. 2001. ISBN 3-446-21471-2.

[6.] Fischer, Wolf-Joachim. Mikrosystemtechnik. Vogel. 2000. ISBN 3-8023-1772-6.

[7.] Fukuda, T. és Menz, W.. Handbook of Sensors and Actuators. Elsevier. 1998. ISBN 0-444-82363-8.

[8.] Gardner, Julian. Microsensors. Wiley. ISBN 0-471-94135-2.

[9.] Gardner, Julian, Varadan, Vijay, és Awakeldarim, Osama. Microsensors, MEMS and Smart Devices. Wiley. 2002. ISBN 0-471-86109X.

[10.] Lambert, Miklós. Szenzorok-elmélet és gyakorlat. Invest-Marketing Bt. 2009. ISBN 978-963-87401-1-3.

[11.] Robert Bosch GmbH: Szenzorok a gépjárművekben. Maróti Könyvkereskedés és Könyvkiadó Kft. 2008. SBN 963-9005-83.

[12.] Tränkler, Hans Rolf. Sensortechnik. Springer. 1998. ISBN 3-540-58640-7.

[13.] Halmai, Attila. Finommechanikai építőelemek. TÁMOP-4.1.2.A/2-10/1. 2012. ISBN 978-963-8445-62-9.

[14.] Halmai, Attila. Finommechanikai szerkezetek. TÁMOP-4.1.2.A/2-10/1. 2012. ISBN 978-963-8445-63-6.

[15.] Halmai, Attila. Szenzor- és aktuátortechnika. TÁMOP-4.1.2.A/2-10/2. 2013. ISBN 978-963-8445-50-6.

[16.] Büttgenbach, Stephanus. Mikromechanik. Teubner. 1994. ISBN 3-519-13071-8.

[17.] Menz, Wolfgang és Mohr, Jürgen. Mikrosystemtechnik für Ingenieure. Wiley. 1997. ISBN 3-527-29405-8.

[18.] Sinzinger, Stephan és Jans, Jürgen. Microoptics. Wiley. 2003. ISBN 3-527-40355-8.

[19.] Heuberger, Anton. Mikromechanik. Springer. 1991. ISBN 3-540-18721-9.

[20.] Swiss Foundation for Research in Microtechnology: The World of Microsystems, Training in Microsystems, www.mib.ch. 1999.

[21.] Wikipedia.org.

[22.] Janocha, Hartmut. Adaptronics and Smart Structures. Springer. 1999. ISBN 3-540-61484-2.

[23.] Fraden, Jacob. Handbook of Modern Sensors. Springer. 2004. ISBN 0-387-00750-4.

[24.] Biaesch- Wiebke, Claus. CD lemezjátszó és digitális magnó. MK. Budapest . 1991. ISBN 9789631090079.

[25.] Jákó, Péter. Digitális hangtechnika. Kossuth. Budapest . 2005. ISBN 9789630947176.