Mikromechanika
Szerzői jog © 2014 Dr. Halmai Attila, Dr. Samu Krisztián
A tananyag a TÁMOP-4.1.2.A/1-11/1-2011-0042 azonosító számú „ Mechatronikai mérnök MSc tananyagfejlesztés ” projekt keretében készült. A tananyagfejlesztés az Európai Unió támogatásával és az Európai Szociális Alap társfinanszírozásával valósult meg.
Dr. Halmai Attila egyetemi tanár, BME-MOGI
Dr. Samu Krisztián egyetemi docens, BME-MOGI
Kézirat lezárva: 2014 február
Lektorálta: Dr. Janóczki Mihály
További közreműködők: Dr. Huba Antal, Dr. Lipovszki György
A kiadásért felel a(z): BME MOGI
Felelős szerkesztő: BME MOGI
ISBN 978-963-313-204-3
2015
Tartalom
- 1. A mikromechanikáról
- 2. A mikromechanika anyagai
- 3. A mikromechanikában használt effektusok és funkcionális anyagok
- 4. Jellegzetes mikromechanikai technológiák
- 5. Mikromechanikai szenzorok
- 6. Mikromechanikai aktuátorok
- 7. Mikrooptikai eszközök
- 8. A digitális adattárolás mikromechanikai megoldásai
- 9. Feladatok
- Irodalomjegyzék
Az ábrák listája
- 1.1. A méretek összehasonlítása
- 1.2. A memória chip-ek kapacitásának és a minimális struktúraméretnek változása az évek függvényében
- 1.3. A mikrotechnika elhelyezkedése a mérettartományban, és jellemző példák
- 1.4. Az első tranzisztor képe
- 1.5. Gordon E. Moore, a róla elnevezett jelenség felfedezője
- 1.6. Az első kereskedelmi forgalomba hozott mikroprocesszor
- 1.7. A mikroprocesszorokban található tranzisztorok száma az évek függvényében
- 1.8. A méretek változásának következményei a felületre és a térfogatra
- 1.9. A bolha „konstrukciója”
- 1.10. A különböző méretű repülő állatok szárnyfrekvenciája
- 1.11. A molnárka a víz felületi feszültségét használja ki
- 1.12. Az elefánt testfelépítése
- 1.13. A hangya fürgén mozog, és testtömegének többszörösét képes rágójánál fogva csaknem függőlegesen felfelé cipelni
- 1.14. Méh összetett szeme
- 1.15. A mikrorendszerek előnyös tulajdonságai
- 1.16. A Bourdon-csöves nyomásmérő elől és hátulnézete burkolat nélkül
- 1.17. A Bourdon-csöves nyomásmérő finommechanikai szerkezete
- 1.18. Mikro elektro-mechanikai nyomásmérő egy csigaházban
- 1.19. Klasszikus mechanikus giroszkóp
- 1.20. MEMS szögsebesség érzékelő
- 1.21. A segway
- 1.22. Klasszikus finommechanikai gyorsulásmérő
- 1.23. A klasszikus gyorsulásmérőhöz tartozó erősítők
- 1.24. MEMS gyorsulásmérő (Bosch SMB 363)
- 1.25. Műhelymikroszkóp
- 1.26. Szúnyog táplálkozás közben
- 1.27. CD olvasófej képe
- 1.28. Emberi hajszálra írt felirat
- 1.29. Lézerrel kilyukasztott emberi hajszál
- 1.30. Mikroméretű versenyautó modell
- 1.31. A bécsi Stephansdom mikroméretű modellje
- 2.1. Polikristályos germánium
- 2.2. Polikristályos szilícium tömb
- 2.3. Természetes hegyikristály (kvarc)
- 2.4. Nagy tisztaságú polikristályos szilícium rúd
- 2.5. A kristálynövesztés fázisai
- 2.6. A Czochralski-féle egykristály növesztési módszer vázlata
- 2.7. A zónás olvasztás módszere
- 2.8. Egykristályos szilícium rúd
- 2.9. Polírozott és orientált szilícium hordozók
- 2.10. Megmunkált szilícium hordozó
- 2.11. A szilícium kristályszerkezete
- 2.12. A szilícium jellegzetes kristálytani síkjai
- 2.13. A szilícium hordozók orientációjának jelölése
- 2.14. A Mohs-féle keménységi skála
- 2.15. Mikrofogaskerék, amelyet egy hangya szájszervével fog meg
- 2.16. Egy légy feje, háttérben egy mikrostruktúrával
- 2.17. A hajszál, porszem és koromrészecske méretei az olvasófej légréséhez viszonyítva
- 2.18. A tiszta terek minősítése az egy köblábban található részecskenagyság és részecskeszám függvényében
- 2.19. A méretek összehasonlítása a hajszáltól a hidrogénatom átmérőjéig
- 2.20. Az IMT (Neuchatel) tiszta helységének képe
- 3.1. Prizmatikus rúd mechanikai alakváltozása
- 3.2. A nyúlásmérő bélyeg elvi kialakítása
- 3.3. Nyúlásmérő bélyeg gyakorlati kialakítása
- 3.4. Félvezető nyúlásmérő bélyeg
- 3.5. A nyúlásmérő ellenállások érzékenységének változása
- 3.6. Mikromechanikai nyomásmérő vázlata
- 3.7. A piezoelektromos szenzor vázlata
- 3.8. Longitudinális és transzverzális piezoelektromos effektus
- 3.9. A bimetall effektus
- 3.10. Az egyutas emlékezőfémes effektus
- 3.11. A kétutas emlékezőfémes effektus
- 3.12. A különböző hőmérséklettől függő ellenállások összehasonlítása
- 3.13. Félvezető diódák karakterisztikája
- 3.14. A nyitóirányú pn átmenet hőmérsékletfüggése
- 3.15. Termoelektromos effektus
- 3.16. A Hall-effektus magyarázata
- 3.17. A Hall-effektus
- 3.18. A Hall-feszültség függése a mágneses indukciótól
- 3.19. A magnetostrikció magyarázata
- 3.20. A magnetorezisztor karakterisztikája
- 3.21. A magnetorezisztor ellenállása a mágneses indukció (T) függvényében különböző hőmérsékleteknél
- 3.22. A belső fotoelektromos effektus
- 3.23. Fotodióda vázlatos keresztmetszete
- 3.24. A szilícium fotodiódák spektrális érzékenysége
- 3.25. A LED-ek sugárzási karakterisztikája, valamint az emberi szem, és a szilícium fotodióda spektrális érzékenysége
- 3.26. A Pockels effektus magyarázatához
- 3.27. Az elaszto-optikai effektus bemutatása
- 4.1. Vákuumgőzölő berendezés sematikus felépítése
- 4.2. Az ellenállásfűtés módszerei
- 4.3. Az elektronsugaras fűtés vázlata
- 4.4. A plazma hőmérséklete és a részecskék sebessége közötti összefüggés
- 4.5. A különféle plazmák hőmérséklete az elektronsűrűség függvényében
- 4.6. A lavina effektus magyarázata
- 4.7. Elektronok kiütése ionok segítségével
- 4.8. Felület tisztítása plazma segítségével
- 4.9. Felület aktiválása plazma segítségével
- 4.10. A plazmamarás elvi vázlata
- 4.11. Rétegfelvitel plazma segítségével
- 4.12. Katódporlasztó berendezés elvi vázlata
- 4.13. Katódporlasztó berendezés képe
- 4.14. Katódporlasztó berendezés képe
- 4.15. Az adalékanyag eloszlása diffúzió esetén különböző időpillanatokban
- 4.16. Ionimplantációs berendezés elvi vázlata
- 4.17. Ionimplantációs berendezés képe
- 4.18. Vízszintes elrendezésű reaktor epitaxiális rétegek növesztésére
- 4.19. Függőleges elrendezésű reaktor epitaxiális rétegek növesztésére
- 4.20. Barrel-reaktor epitaxiális rétegek növesztésére
- 4.21. Oxidálásra és diffúzióra szolgáló kemencék (reaktorok)
- 4.22. CVD reaktor típusok. (a) horizontális APCVD reaktor, (b) a szubsztrátok ferde elhelyezése az egyenletesebb rétegvastagságot szolgálja, (c) LPCVD reaktor, (d) PECVD reaktor
- 4.23. A különböző (vákuumgőzölés, katódporlasztás és CVD) technológiák hatása az alámart struktúrára
- 4.24. Az elektronsugaras litográfia elvi vázlata
- 4.25. Elektronsugaras litográfiás berendezés formázott sugárzással
- 4.26. Az elektronsugaras litográfiás maszkkészítés főbb lépései
- 4.27. Fotoreziszt réteg előállítására szolgáló berendezés vázlata és a fotoreziszt (Hoechst/Clariant AZ 4000) vastagsága a fordulatszám függvényében
- 4.28. Fotolitográfia pozitív és a negatív fotoreziszttel
- 4.29. A pozitív fotoreziszt működési mechanizmusa
- 4.30. A negatív fotoreziszt működési mechanizmusa
- 4.31. Az optikai litográfiánál használt nagynyomású higanygőz lámpák sugárzásának spektrális eloszlása
- 4.32. Nagynyomású higanygőz lámpával megvalósított megvilágító berendezés vázlata
- 4.33. A maszk és a szubsztrát elhelyezésének három változata
- 4.34. A litográfiás technológia felbontását és minőségét ellenőrző teszt-struktúra
- 4.35. A maszk résméretének hatása a fotorezisztre
- 4.36. A szelektivitás és az izotrópia értelmezése
- 4.37. A szilícium legjellemzőbb kristálytani síkjai
- 4.38. Az anizotróp marás maszkjai és marószerei
- 4.39. A Siemens-csillag és a mart árkok keresztmetszete
- 4.40. Bal oldalon (a) 100, jobb oldalon (b) 110 orientációjú szeletek marási sebessége a kristálytani irányoktól függően. (50%-os KOH oldat, 78 °C hőmérsékleten)
- 4.41. Az anizotróp marási folyamat sematikus ábrázolása
- 4.42. Az anizotróp marással előállítható jellegzetes alakzatok
- 4.43. Anizotróp marással előállított negatív gúla (a) és befogott tartó (b, c, d)
- 4.44. Anizotróp marással előállított befogott tartók félig kész állapotban
- 4.45. Száraz anizotróp marással előállított szűrő mikroszkópikus képe
- 4.46. A sarokkompenzáció magyarázatához
- 4.47. Áramlásmérő szenzor kialakítása anizotróp marással
- 4.48. Az anizotróp és izotróp marási profilok közötti különbségek
- 4.49. Az alámaródás mikroszkópikus képe
- 4.50. A marási folyamat leállítása időméréssel és bór koncentrációval
- 4.51. A marási sebesség függése a bór koncentrációtól
- 4.52. A marási folyamat leállítása más anyagok (Si3N4 és SiO2) alkalmazásával
- 4.53. A marási folyamat leállítása pn átmenet segítségével elektrokémiai úton
- 4.54. A marási folyamat leállítása anizotróp és izotróp marások esetén
- 4.55. A száraz fizikai és kémiai marások közötti különbség
- 4.56. Ionos marásra alkalmas berendezés vázlata
- 4.57. Ionsugaras maróberendezés vázlata
- 4.58. Plazma maró berendezés vázlata
- 4.59. Barrel reaktor vázlata
- 4.60. Reaktív ionos marással készített mikromechanikai struktúra
- 4.61. A LIGA technológiával előállítható struktúrák jellemző méretei a mikroelektronikában alkalmazott méretekhez viszonyítva
- 4.62. LIGA technológiával előállított mikromechanikai struktúra
- 4.63. A LIGA technológia legfontosabb lépései (magyarázat a szövegben)
- 4.64. Az Európában található szinkrotronok
- 4.65. A CERN LHC gyorsítójának földrajzi elhelyezkedése
- 4.66. A CERN LHC gyorsítójának alagútja
- 4.67. A Párizs melletti Soleil gyorsító képe
- 4.68. A Soleil gyorsító belső elrendezése
- 4.69. A röntgensugaras litográfia vázlatos elrendezése
- 4.70. A röntgensugaras litográfia levilágító egysége
- 4.71. A röntgensugaras litográfiához szükséges munkamaszkok előállításának lehetőségei
- 4.72. A röntgensugaras litográfiához való maszk képe
- 4.73. A röntgensugaras litográfiához való köztes maszk előállításának technológiai lépései
- 4.74. A röntgensugaras litográfiához való munka maszk előállításának technológiai lépései
- 4.75. A röntgensugaras litográfiával elérhető struktúrák éles határvonalakkal és nagyon jó felületi minőséggel rendelkeznek
- 4.76. Lézerrel készített furatok alakjának függése az energiasűrűségtől
- 4.77. Lézerrel készített furat orvosi katéterben
- 4.78. Az ultrahangos mikrohuzal kötés fázisai
- 4.79. Ékes ultrahangos mikrohuzal kötés képe
- 4.80. A termokompressziós kötés lépései
- 4.81. Az Au-Si állapotábra
- 4.82. Termokompressziós kötés a mikroelektronikában
- 4.83. A termoszonikus mikrohuzal kötés lépései
- 4.84. Az anódos kötés vázlata
- 5.1. Mikromechanikai orvosi nyomásmérő
- 5.2. A mikromechanikai orvosi nyomásmérő szerkezete
- 5.3. Nyomás-frekvencia diagram
- 5.4. Frekvencia kimenetű nyomásmérő szenzor vázlatos metszete
- 5.5. Mikromechanikai barometrikus modul képe
- 5.6. Mikromechanikai barometrikus modul áramköreinek tömbvázlata
- 5.7. A mikromechanikai nyomásmérő membrán alatti részében vákuum van
- 5.8. A mikromechanikai nyomásmérő membránjának deformációja
- 5.9. A membrán alakváltozásának mérése
- 5.10. A szilícium szelet a megmunkált mikromechanikai struktúrákkal
- 5.11. A piezorezisztorok létrehozása
- 5.12. A vezetékezés megoldása alumínium gőzőléssel
- 5.13. A struktúra levédése szilíciumnitrid réteggel
- 5.14. A mikromechanikai membrán kialakítása anizotróp marással
- 5.15. A membrán alatti tér lezárása
- 5.16. Az áramköri elemek ellenőrzése mérőtűkkel
- 5.17. A szilícium szelet darabolása gyémánttárcsával
- 5.18. A gyémánttárcsával vágott felület
- 5.19. A mikromechanikai nyomásmérő áramkörei kerámia hordozóra vannak szerelve
- 5.20. A mikromechanikai részt védőkupak védi
- 5.21. A védőkupakot gélszerű anyaggal töltik ki
- 5.22. A mikromechanikai nyomásmérő kalibrálása
- 5.23. A kész mikromechanikai nyomásmérő
- 5.24. A mikromechanikai nyomásmérő néhány alkalmazása
- 5.25. Barometrikus mikromechanikai nyomásmérő modul (BMP 280)
- 5.26. A belsőégésű motorok szívócsövében alkalmazott mikromechanikai nyomásmérő
- 5.27. A mikromechanikai nyomásmérő vázlatos metszete
- 5.28. A mikromechanikai nyomásmérő referencia vákuummal a struktúra oldalon
- 5.29. A mikromechanikai nyomásmérő tokozás előtt
- 5.30. A mikromechanikai nyomásmérő szilícium lapkájának képe középen a membránnal, és a széleken a mikroelektronikai áramkörökkel
- 5.31. A tokozott szívócső nyomás és hőmérséklet mérő szenzor
- 5.32. Szívócső nyomás és hőmérséklet mérő szenzor a membrán alatt kialakított referencia vákuummal
- 5.33. Mikromechanikai nyomásmérő a membrán alatt létrehozott referencia vákuummal
- 5.34. Nagy felbontású és ultraminiatűr nyomásmérő szenzorok egy pénzérmén
- 5.35. Katéterbe építhető, rádiófrekvenciás adóval ellátott nyomásmérő szenzor
- 5.36. Nagynyomású szenzor vázlatos metszete
- 5.37. A gyorsulásmérők egyszerűsített rendszertechnikai modellje
- 5.38. Másodrendű rendszerek amplitúdó diagramja a frekvencia függvényében
- 5.39. A gyorsulásmérőknél alkalmazott mérési elvek: a.): elmozdulás mérés, b.): erőmérés
- 5.40. Példák mikromechanikai gyorsulásmérők szeizmikus tömegének kialakítására
- 5.41. Tömbi mikromechanikai technológiákkal kialakított gyorsulásmérő tokozás előtti képe
- 5.42. A gyorsulásmérő mikroelektronikai és mikromechanikai egysége
- 5.43. A gyorsulásmérő vázlatos keresztmetszete
- 5.44. A gyorsulásmérőben kialakított síkkondenzátorok
- 5.45. A gyorsulásmérő mérő és jelfeldolgozó áramkörei
- 5.46. A különböző vastagságú oxidrétegek kialakítása
- 5.47. A nedves anizotróp marás elindítása
- 5.48. A nedves anizotróp marási folyamat befejezése
- 5.49. A felső és az alsó fegyverzetet alkotó szilíciumszelet hozzákötése a középső szelethez
- 5.50. A kész mikromechanikai gyorsulásmérő
- 5.51. A gyorsulásmérő felragasztása a kerámia hordozóra
- 5.52. Légzsák vezérléshez kifejlesztett gyorsulásmérő
- 5.53. A felületi mikromechanikával készült gyorsulásmérő működési elve
- 5.54. Felületi mikromechanikával készült egytengelyes gyorsulásmérő axonometrikus rajza
- 5.55. A gyorsulásmérő mikroszkópos képe
- 5.56. A kinagyított fésűs elektródák
- 5.57. A gyorsulásmérő feldolgozó áramkörei
- 5.58. Oldal légzsákok vezérlésére kifejlesztett gyorsulásmérő képe
- 5.59. A Bosch PAS 2 gyorsulásmérőjének képe tokozás előtt
- 5.60. A Bosch SMB363 gyorsulásmérőinek képe
- 5.61. A Bosch BMA típusú gyorsulásmérőinek képe
- 5.62. A piezoelektromos mérési elv
- 5.63. A piezoelektromos szenzorok jelfeldolgozása. a: elektrométer erősítő, b: töltéserősítő
- 5.64. A Bosch cég külömböző gyorsulásmérői
- 5.65. Nyúlásmérő bélyegekkel működő gyorsulásmérő
- 5.66. A nyúlásmérő bélyegek kialakítása
- 5.67. Oldallégzsák vezérlésére kifejlesztett gyorsulásmérő képe
- 5.68. Analóg gyorsulásmérő karakterisztikája
- 5.69. Nyugalmi helyzetben a felmelegített rész szimmetrikusan helyezkedik el
- 5.70. Gyorsulás esetén a szimmetria felborul
- 5.71. Nyugalmi állapot, amikor a rendszerre nem hat gyorsulás
- 5.72. A szenzorra gyorsulás hat vízszintesen és bal irányból
- 5.73. A fűtőtest és a hőmérséklet mérő szenzorok mikromechanikai kialakítása
- 5.74. Gyorsulás esetén a hőmérsékleti eloszlás megváltozik
- 5.75. Az elektronikusan vezérelt jármű tartósan képes két keréken haladni
- 5.76. A klasszikus mechanikai giroszkóp elve
- 5.77. Mikromechanikai giroszkóp
- 5.78. A Coriolis-gyorsulás keletkezése
- 5.79. A Coriolis-erő keletkezése
- 5.80. A Coriolis-erő mérése
- 5.81. A mikromechanikai szögsebesség érzékelő valóságos képe
- 5.82. Az egychipes szögsebesség mérő képe a mikromechanikai és a mikroelektronikai részekkel
- 5.83. Néhány ismert repülőgéptípus a mikromechanikai girométerek alkalmazására
- 5.84. A Segway robbantott ábrája
- 5.85. Mikromechanikai giroszkópot is alkalmazó játék helikopter képe (rotor átmérő 195 mm)
- 5.86. A Német Statisztikai Hivatal kimutatása a balesetek számáról az idő függvényében, melyen jelölték a passzív biztonságot szolgáló rendszerek bevezetésének időpontját
- 5.87. A Bosch MM1 szögsebesség szenzorának működési elve
- 5.88. Az MM1 szenzor részének mikroszkópos képe és a tokozott szenzor képe
- 5.89. Az MM1 szenzor elektronikus áramköreinek tömbvázlata
- 5.90. A szögsebesség mérő szenzor karakterisztikája. A kimenet analóg feszültség, és a vízszintes tengelyen a skála °/s beosztású
- 5.91. Az autóipari alkalmazásra kifejlesztett kész szenzoregység
- 5.92. Az MM2 szögsebesség mérő szenzor működési elve
- 5.93. A szenzor mikromechanikai részének képei
- 5.94. A szenzor fésűs elektródáinak nagyított képe
- 5.95. A DRS MM3 szenzor képei, a mikromechanikai rész kinagyítva
- 5.96. A DRS MM5 szenzor képe
- 5.97. A DRS MM5 szenzor képe eltávolított fedéllel
- 5.98. A Bosch cég 3 tengelyű szögsebesség mérő szenzora
- 5.99. A hőhuzalos áramlásmérők működési elve
- 5.100. A hőhuzalos (1) és a hőfilmes (2) légtömeg mérők mérési karakterisztikája közötti különbség
- 5.101. A Coriolis-gyorsulás keletkezése
- 5.102. A hőfilmes légtömeg mérő karakterisztikája
- 5.103. A hőfilmes légtömeg mérő vázlatos konstrukciója
- 5.104. A hőfilmes légtömeg mérő felépítése és a hőmérséklet eloszlás jellege
- 5.105. Az emberi hallás tartománya
- 5.106. A hagyományos dinamikus mikrofon működési elve és főbb alkatrészei
- 5.107. Egy chip-es kondenzátor mikrofon vázlatos keresztmetszete
- 5.108. A FET mikrofon működési vázlata
- 5.109. A FET mikrofon metszeti rajza
- 5.110. A hagyományos kondenzátor és a FET mikrofonok közötti felhasználási különbségek
- 5.111. Mikromechanikai hőmérséklet mérő szenzor keresztmetszete
- 5.112. Hőmérséklet mérő szenzor konstrukciója
- 5.113. Hőmérséklet mérő szenzor axonometrikus ábrázolása
- 5.114. Tokozatlan hőmérséklet mérő szenzor egy emberi ujjon
- 6.1. Egy jellegzetes mikromechanikai pumpa képe
- 6.2. A mikromechanikai pumpa szerkezeti felépítése
- 6.3. A mikropumpa szállítási karakterisztikája
- 6.4. A mikropumpa robbantott ábrája
- 6.5. A működtető membrán kialakítása
- 6.6. A mikropumpa felülnézete, baloldalon a szűrőegység
- 6.7. A nyomtatófejek kétféle elrendezése és a kapillárisok egy részlete
- 6.8. A nyomtatófej sematikus konstrukciója
- 6.9. A nyomtatófej gyártásának lépései
- 6.10. A lefedetlen tintakamra a szűrővel
- 6.11. A nyomtatófej vázlatos konstrukciója
- 6.12. A szilícium szelet tisztítása
- 6.13. A szilícium szelet termikus oxidálása
- 6.14. A szilícium szelet bevonása fotoreziszttel
- 6.15. A strukturálás fotolitográfiával, UV fénnyel
- 6.16. A struktúra előhívása
- 6.17. Az oxid lemarása
- 6.18. A szilícium szelet vázlatos képe
- 6.19. A szilícium és üveg összekötése anódos kötéssel
- 6.20. A szilícium szelet bevonása fotoreziszttel
- 6.21. A vezetőpályák strukturálása fotolitográfiával
- 6.22. A fotoreziszt előhívása
- 6.23. Alumínium réteg felgőzölése
- 6.24. A felesleges alumínium eltávolítása
- 6.25. A ragasztóanyag felvitele
- 6.26. A piezo aktuátorok felragasztása
- 6.27. A Faulhaber 0206 típusú mikromotor szerkezete és alkatrészei
- 6.28. A hajtóművel egybeépített Faulhaber 0206 típusú mikromotor
- 6.29. a.) A bolygóműves hajtómű elvi vázlata, b.) három fokozatú hajtómű axonometrikus ábrázolása
- 6.30. a.) A bolygóműves hajtómű egy elemének képe, b.) a hajtómű külső háza egy részen el van távolítva
- 6.31. A bolygómű napkerekének félkész állapota
- 6.32. A bolygómű előállításához szükséges szerszám
- 6.33. A bolygómű előállításához szükséges szerszám
- 6.34. a.) A bolygókerék előállításához szükséges szerszám, b.) a napkerék és a szerelőlemez szerszáma és az azzal előállított munkadarab
- 6.35. A Wolfrom-hajtómű. a.) finommechanikai elvi megoldás, b.) mikromechanikai elvi megoldás, c.) a megvalósított mikromechanikai hajtómű képe
- 6.36. LIGA technológiával előállított szerszám szikraforgácsoláshoz
- 6.37. Bolygókerekek előállításához szükséges szerszámok kétféle profileltolással
- 6.38. Mikroméretű fogaskerék, amelyet egy hangya éppen a szájszervével fog meg
- 6.39. Mikroméretű mechanikai alkatrészek készítése fotoreziszt és galván technológia alkalmazásával
- 6.40. Mikroméretű lépcsős fogaskerék, és készítésének technológiai lépései
- 6.41. Mikroméretű hullámhajtómű, a módosítás 1:1023
- 6.42. A Penny-motor és robbantott ábrája
- 6.43. Mikromechanikai technológiákkal előállított tekercs
- 6.44. A mágneses és elektrosztatikus rendszerek energiasűrűsége
- 6.45. Három fázisú léptető mikromotor vázlata
- 6.46. A mikromotor előállításának lépései
- 6.47. A mikromotor csapágyazásának kialakítása
- 6.48. A mikromotor képe
- 6.49. A mikromotor részlete
- 6.50. Mikromechanikai szelep szerkezete
- 6.51. Mikromechanikai alkatrészek
- 6.52. Mikromechanikai turbina
- 7.1. Az optikai építőelemek osztályozása
- 7.2. A refraktív optikai építőelemek osztályozása
- 7.3. A fénytörés jelensége
- 7.4. Mikrolencse mátrix PMMA anyagból
- 7.5. Optikai szál széttartó nyalábjának fókuszálása gömblencsével
- 7.6. Változó törésmutatójú rétegek hatása a fényútra
- 7.7. Planár mikrolencsék létrehozása ioncserés technológiával
- 7.8. A diffúziós paraméterek hatása a sugármenetre
- 7.9. REM felvétel analóg litográfiával készült mikroprizma rendszerről
- 7.10. A reflexión alapuló optikai építőelemek
- 7.11. A teljes visszaverődés
- 7.12. Az integrált fényvezetők gyakorlati megvalósítása
- 7.13. A fényvezető szálak konstrukciója
- 7.14. Száloptikás erőmérő
- 7.15. Mikrooptikai fényvezető jellegzetes méretei
- 7.16. Hagyományos optikai szál csatlakozása integrált rendszerekhez
- 7.17. Mikrooptikai fényvezető csatlakozás kialakítása
- 7.18. Mikromechanikai technológiákkal előállított száloptikai csatlakozó vázlata
- 7.19. Az eső-fény szenzor működése
- 7.20. Az szennyeződés szenzor működése
- 7.21. A projektorok működési elve
- 7.22. Mikrotükör rendszer képe (DMD)
- 7.23. A mikrotükrök felépítése
- 7.24. Egy mikrotükör mikroszkópi képe
- 7.25. A DMD tükörrendszer egy tenyérben elfér
- 7.26. A diffrakciót felhasználó optikai elemek
- 7.27. Fűrészrácsos mikrooptikai elemek
- 7.28. Példák a diffrakciót felhasználó optikai elemekre: a) 1x2 sugárosztó, b) 1xN sugárosztó, c) sugáreltérítő, d) diffraktív lencse
- 7.29. REM felvételek a) sugárosztó funkciót is ellátó mikrolencse, b) mikrolencse mátrix
- 7.30. A mikrospektrométer képe
- 7.31. A mikrooptikai egység
- 7.32. A belépő fényt az optikai rács bontja fel spektrális összetevőire
- 7.33. Az optikai rács
- 7.34. A mikrospektrométer képe
- 7.35. Az alsó védőfólia elhelyezése
- 7.36. A szál beragasztása és a felső védőfólia elhelyezése
- 7.37. Az optikai egység pozícionálása a vonaldetektorhoz
- 7.38. A mikrospektrométer alkalmazása a vér bilirubin tartalmának mérésére
- 7.39. Mikrooptikai iránycsatoló és elosztó vázlatos konstrukciója
- 7.40. Mikrooptikai csatoló (modulátor) felépítése és csatlakoztatása hagyományos szálakhoz
- 7.41. Mikrooptikai iránycsatoló tipikus geometriai méretei, a fényintenzitás lefutása, és a mikrooptikai rész keresztmetszete a jellegzetes méretekkel
- 8.1. Egy jellegzetes merevlemezes adattároló belső szerkezete
- 8.2. Merevlemezes adattároló fej-lemez távolsága
- 8.3. Többlemezes merevlemezes adattároló
- 8.4. Hagyományos olvasófej
- 8.5. Magnetorezisztív olvasófej
- 8.6. Merevlemezes adattároló fejegysége
- 8.7. Merevlemezes adattároló író-olvasófej
- 8.8. Egy optikai adattároló lemez képe és logója az írás-olvasás oldaláról nézve
- 8.9. Hagyományos CD korong metszete vázlatosan
- 8.10. A minimális és a maximális pithossz
- 8.11. A hagyományos CD korongok szerkezete
- 8.12. A klasszikus CD korong olvasásának elve
- 8.13. A hengeres lencse képalkotása változik, ha a kép nincs a fókuszban
- 8.14. A kvadráns diódára eső fényfolt három lehetséges helyzete
- 8.15. Az objektív (lencse) elektrodinamikus mozgatásának elve
- 8.16. Az objektív (lencse) elektrodinamikus mozgatására szolgáló kéttengelyű elem
- 8.17. DVD lemez felületének nagyított képe
- 8.18. Írható CD lemez
- 8.19. A klasszikus CD technológia lépései
- 8.20. Írható CD lemez felnagyított részlete
- 8.21. Újraírható CD lemez felépítése
- 8.22. Az újraírható CD lemez működési elve
- 8.23. Az optikai adattárolók főbb tulajdonságainak összehasonlítása
A táblázatok listája
- 2.1. A mikrotechnikában leggyakrabban használatos fémes anyagok
- 2.2. A mikrotechnikában használatos félvezető anyagok kristályszerkezete, rácsállandója és energiaszint különbsége
- 2.3. A kvarc, a szilícium és a rozsdamentes acél összehasonlítása
- 2.4. A mikrotechnikában alkalmazott kerámiák és alkalmazási területeik
- 2.5. A mikrotechnikában használatos polimer anyagok
- 4.1. A legfontosabb CVD eljárások áttekintése
- 4.2. Az epitaxiális növesztésnél használt legfontosabb gázok
- 4.3. A különböző litográfiás eljárások
- 4.4. A reaktív ionos marásnál a különböző anyagú rétegeknél felhasználható gázok
- 5.1. A gépjárművekben alkalmazott gyorsulásmérők mérési tartománya
- 5.2. A mikromechanikai gyorsulásmérőknél alkalmazott mérési elvek